电子化学气及高纯气体终端纯化器和净化技术研究    由化工部光明化工研究所和北京市特种气体研究所共同承担的“八五”国家重点
    由化工部光明化工研究所和北京市特种气体研究所共同承担的“八五”国家重点科技项目（攻关）———“电子化学气及高纯气体终端纯化器和净化技术研究”（８５－７１５－１－２）专题于近日通过了技术鉴定和验收。    由光明所研制和批量生产的ＳｉＨ２Ｃｌ２经检测单位检测，主组分和６种元素
    由光明所研制和批量生产的ＳｉＨ２Ｃｌ２经检测单位检测，主组分和６种元素杂质含量均已达到或优于合同规定的要求。用户使用结果表明，可以取代进口，达到国外９０年代同类产品的水平；氢终端纯化器达到国外同类产品的先进水平；净化过滤器结构性能处于国内领先水平，Ｃｌ２和ＢＣｌ３在国内属领先水平，达到国外９０年代同类产品的水平；以多晶硅厂废液为原料，采用精馏、络合和终端吸附的组合工艺提纯ＳｉＨ２Ｃｌ２属国内首创，技术上有突破和创新；ＳｉＨ２Ｃｌ２中ｐｐｍ级碳的分析方法属国内首创。（梁国仑）