回收全氟化合物新技术    据英国《欧洲化学新闻》报道，液化空气公司开发成功专用气体
    据英国《欧洲化学新闻》报道，液化空气公司开发成功专用气体的膜技术，用来捕集并回收在半导体生产中使用的全氟化合物（ＰＦＣ），且已对这项技术进行了试验。    当ＰＦＣ气体排入大气中时产生温室效应，引起人们的关注，预
    当ＰＦＣ气体排入大气中时产生温室效应，引起人们的关注，预计到２００４年回收这类气体的装置的市场规模将达到５０００万～１亿美元。    液化空气公司的装置是在炉子的出口处回收含ＰＦＣ气体、氮气
    液化空气公司的装置是在炉子的出口处回收含ＰＦＣ气体、氮气和其他组分的气体，然后将其通过两层膜进行过滤。较小分子的氮气通过膜，而剩下的富含ＰＦＣ的气体混合物留下来，再将ＰＦＣ回收重新利用。    液化空气公司已在美国获得了４项专利，在欧洲和亚洲也获得了
    液化空气公司已在美国获得了４项专利，在欧洲和亚洲也获得了几项专利。美国专利局还为颁发这项技术的其他专利亮了绿灯。（鲁青摘译）