信越化学开发全球最大永久磁铁型磁路
　　信越化学有限公司已经成功开发出大型磁路，其将成为全球最大的永久磁铁型磁路。该磁路总重量约10t，将
主要用于制造加工如新一代MRAM半导体或MR传感器。
　　制造MRAM，磁场的热处理是关键，需要提供超过1特斯拉的大型磁场。一般需要用到电磁铁和超导电磁铁。而
最近许多半导体制造商开始采用永久磁铁型磁路，因为这种磁路具有良好的磁场性能和磁场稳定性，而且具有储存
能量和无需维护等优点。近几年大直径硅片成为发展趋势，因此对这种大型磁路的需求呈增长态势。
    信越化学采用稀土磁铁已经制造出不同的大尺寸磁路。总质量达到10t，圆柱直径1.4m，高1m。该磁路已经先
于其他公司用于300mm大晶片的制备。（鸿）