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SurreyNanoSystems将商业化碳纳米管低温制备工艺
2009年35期 发行日期:2009-09-08
SurreyNanoSystems将商业化碳纳米管低温制备工艺
  近日,Surrey NanoSystems表示已经得到250万美元投资,将用于商业化碳纳米管低温制备工艺,所生产的碳
纳米管主要用于半导体设备对接连通技术。
  该公司表示:“该创新将会帮助硅集成电路生产商克服下一代产品发展中的困难。半导体产业亟需一种新的对接
连通技术,如果能够解决碳纳米管在硅友好温度下精确生长的问题,将会有着很大的潜在市场。我们希望能够提供
一种全新的、可靠地生产高容量半导体设备的对接连通加工技术,一种能够完全开发碳纳米管性能的技术。”(进)
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