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苏威成功开发现场氟气生产装置
2011年39期 发行日期:2011-10-09
作者:星莹
苏威成功开发现场氟气生产装置
苏威化学近日宣布公司将在韩国温山的一个客户厂区内安装一套新的现场电子级氟气(F2)生产装置并进行相
关测试。这套模块式装置将年产电子级氟气100t,并且在生产需要时很容易便可进行扩能。
相比于全球变暖潜值(GWP)为1.72万的三氟化氮(NF3),氟气的GWP为零,有望作为光伏行业、半导体行业
和显示器行业中NF3清洗气体的替代品。这样既减少了清洗气体的消耗量,又节省了清洗时间,有助于提高生产效
率。(星莹)
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