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山特维克展示一体化加热解决方案
2015年17期 发行日期:2015-05-08
作者:zhoukan2012

  近日,山特维克材料科技公司(Sandvik)在上海举办的SEMICON China 2015半导体展上,针对半导体及光伏晶片热加工领域,以节能为主题,着重展示其一体化工业加热产品和解决方案,包括干制程加热单元,自由辐射式加热单元(Meanderthal),垂直加热炉体和可开启管式(MRL)炉体。这些产品不仅能帮助客户节省能耗,还能提高客户的生产率和合格率。
  山特维克材料科技在半导体及光伏晶片热加工领域拥有KANTHAL和MRL两大知名品牌。系列产品不仅可用于对晶片的扩散、氧化、低压化学气相沉积等制程,而且越来越多的用于各种晶体的生长工艺。此次参加展会的四款重点产品主要用于半导体、光伏和晶体生长等热制程,结合高端技术和优质选材进行灵活设计,不仅质量可靠,而且功率载荷极高,具有“免维护”、使用周期更长、老化不明显、产品重量轻、制造标准化等优势。(梅艳)

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