我国首条石英玻璃基板成套生产线建成
日前,基于光刻用石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)绿色制造技术,建材总院石英院在衢州建立了国内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线,该生产线可年产20000片4~6英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局面。
建材总院石英院科研人员经不懈努力,形成一套符合我国行业现状与发展趋势的独有工艺路线,不但解决了石英玻璃基板原材料的纯度、均匀性难题,同时实现了原材料绿色制造;引入多刀切割、安全快速磨抛工艺,创造性地开发了熔拉制坯、数控倒角等技术,解决了石英玻璃基板加工精度的难题。