ENTEGRIS 与湖北晶星签订生产协议
　　日前，Entegris Inc.宣布与湖北晶星科技股份有限公司（以下简称“湖北晶星”）签订协议，合作生产 Entegris 高纯度沉积产品。
　　Entegris 特殊化学品和工程材料部门高级副总裁兼总经理 Stuart Tison 表示：“Entegris UltraPurTM TEOS 是 3D NAND 技术的关键材料，我们很荣幸成为第一家在中国实现大批量生产 TEOS 的跨国企业。同湖北晶星的合作有利于 Entegris 在中国扩大产能，同时也缩短了中国市场的沉积材料供应链。”