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巴斯夫新建电子级硫酸装置在嘉兴投产
2018年11期 发行日期:2018-06-03


   巴斯夫(BASF)5月30日宣布,该公司位于浙江嘉兴的新建电子级硫酸装置正式投入运营,将主要服务于国内日益增长的半导体制造行业。该装置尚未竣工即同时启动扩建项目,扩容后产能将翻番。扩建项目预计将于今年底投产。
    该套新装置配备了先进的技术,将生产高品质的硫酸。因为在制造小于10纳米单位数节点晶片的过程中需要经过数百道清洗工序,新装置所生产的硫酸将主要用于此过程中半导体晶片的清洁。这一装置拥有先进的质量分析设备和配有专用无尘室的分析实验室,旨在满足中国电子行业客户的未来需求。

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