日本JSR拟收购美国尖端EUV光刻胶供应商

    9月17日，日本合成橡胶公司（JSR）宣布，将以5.14亿美元（约合人民币24.46亿元）收购美国半导体材料厂商Inpria。

    目前，JSR持有Inpria 21%的股份。通过这笔交易，JSR将收购Inpria的剩余股份，从而使得Inpria成为JSR的全资子公司，预计该交易将于2021年10月底完成。

    据悉，JSR主要聚焦合成橡胶（收入占比38%）、数码解决方案（31%）、塑料（20%）与生命科学（11%）四大主业，其中数码解决方案涵盖光刻材料、化学机械抛光CMP材料等。目前，JSR光刻胶全球的市场占有率为13%（其中ArF光刻胶位居第一）。

    而Inpria一直致力于开发基于金属的EUV光刻胶，其主要产品主要由氧化锡组成，使用EUV曝光系统实现了世界上最高分辨率。此外，金属基光刻胶在干蚀刻过程中的图案转移性能方面优于传统光刻胶，非常适合半导体量产工艺。

    随着此次收购的完成，JSR将把Inpria的金属基光刻胶添加到JSR的光刻胶产品组合中，进一步提升其光刻胶市场份额。