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多氟多进入台积电供应商体系
2022年11期 发行日期:2022-06-01

多氟多进入台积电供应商体系

  5月19日,多氟多新材料股份有限公司(以下简称“多氟多”)发布公告称,多氟多正式进入台湾积体电路制造股份有限公司南京工厂(以下简称“台积电”)合格供应商体系。这标志着半导体行业关键原材料的国产化再下一城。

  台积电是全球规模最大的半导体企业之一。多氟多董事长李世江表示,在经过台积电严格细致的文件审查、现场审核和多轮上线测试后,多氟多正式进入台积电合格供应商体系,目前已经开始向台积电(南京)有限公司批量交付高纯电子化学品材料。

  电子级氢氟酸是电子化学品中的重要组成部分,主要用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和刻蚀工序。多氟多生产的电子级氢氟酸品质达到UPSSS级,产品纯度达到PPT级,是目前半导体用电子级氢氟酸的最高级别。

  自2015年以来,多氟多以半导体市场8英寸客户为起点,不断研究新技术、开拓新市场,以电子级氢氟酸为代表的高纯电子化学品接连取得重要突破,并逐渐被国内国外的半导体龙头企业所认可和使用。2018年开始,多氟多的高纯电子化学品相继成功进入美国、韩国等全球领先半导体公司的供应链,并逐步大批量供应国内多条8英寸和12英寸半导体芯片产线。同时,多氟多电子级硅烷产品已开始供应台积电台湾工厂,中芯国际、海力士、长鑫存储等半导体企业都已开始测试。

  为更好地满足半导体产业对电子化学品持续增长的需求,多氟多正在建设年产3万吨超净高纯电子级氢氟酸、3万吨超净高纯湿电子化学品、100吨高纯乙硅烷、100吨高纯氟氮混合气、300吨高纯四氟化硅等项目,今年下半年将陆续建成投产,并根据市场情况逐步释放产能。


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