近日，由上海化工研究院领衔研发的1000公斤/年电子级高丰度硼-11同位素生产工艺在山东合益公司实现稳定量产，顺利获得丰度在99.9%以上的三氟化硼-11产品，关键指标已赶超国外进口的同类产品，上海化工研究院的反应与精密精馏耦合工程技术在同位素分离领域又一次实现重要突破。

　　该项目采用苯甲醚化学交换法生产硼-11同位素，是上海化工研究院继同位素氢-2、氮-15、氖-22、氧-18、碳-13等成功开发并实现产业化后的又一个稳定同位素产品，也是我国近几十年研发硼同位素以来的首次国产化成功。

　　据介绍，上海化工研究院与山东合益公司于2020年1月正式签订合作协议后，以国家级同位素中心为主体，与合作方的技术团队共同科研攻关；2021年9月完成中试；2022年3月启动生产装置建设。

　　据悉，高丰度三氟化硼-11是高端芯片、面板等制造中重要的特种气体材料，与普通丰度三氟化硼掺杂相比，其可以显著提升芯片的稳定性和抗干扰能力，被广泛用于通讯、国防、航空航天等领域中。在上海化工研究院实现技术突破之前，全球仅美国和格鲁吉亚拥有3套该产品的生产装置，我国相关技术和产品完全依赖进口。

　　该项目开发了具有自主知识产权的流程模拟计算、新型填料、反应设计、过程控制、设备选型、检测方法等国内首创的工艺技术，不仅填补了我国在高丰度硼-11同位素产业上的空白，打破了国外龙头企业的垄断，还对于我国提升半导体基础材料自给率、维护产业链安全具有重要意义。