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迅盛公司硅烷特气项目开工
2024年22期 发行日期:2024-12-02

迅盛公司硅烷特气项目开工

  近日,湖北迅盛半导体材料有限公司年产612吨半导体级硅烷特气项目,在松宜协同发展示范园开工。

  该项目总投资18.66亿元,分两期建设。项目采用合成催化工艺和改良小松法工艺生产乙硅烷、丙硅烷和甲硅烷三大产品。这些产品是新一代信息技术核心集成电路产业的重要原材料,主要用于IC晶圆半导体、高阶集成电路20纳米以下的芯片、内存、闪存、新一代柔性面板等领域。该项目的落地将有效带动半导体特色行业聚集发展,提升区域竞争力。


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