上海新阳再建5万吨/年集成电路关键材料项目
4月17日,上海新阳发布公告称,公司计划投资年产5万吨集成电路关键工艺材料及总部、研发中心项目,以满足市场需求和客户需求,扩大产品产能。项目总投资18.5亿元,其中年产5万吨集成电路关键工艺材料项目投资14.7亿元;总部及研发中心项目投资3.8亿元。
据悉,年产5万吨集成电路关键工艺材料,包括年产能5000吨超纯芯片清洗液系列产品;年产能6500吨超纯芯片电镀液系列产品;年产能33500吨超纯芯片蚀刻液系列产品;年产能5000吨化学机械抛光液系列产品。