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三菱化学推进超高纯胶体二氧化硅产业化
2026年17期 发行日期:2026-09-01

  日前,三菱化学(Mitsubishi Chemical)宣布推进超高纯胶体二氧化硅的产业化,将在日本北九州市九州工厂新建生产设施,计划2028年10月正式投产。

  胶体二氧化硅是半导体制造的关键材料,可用于硅片表面抛光药剂,也可充当晶圆互连层化学机械抛光研磨液原料。三菱化学将以超高纯四甲氧基硅烷为原料,采用一体化工艺制备超高纯胶体二氧化硅,可把杂质水平降到极低。三菱化学依托自身成熟技术,能够对粒径、密度等关键指标进行定制调整,适配半导体厂商的实际生产要求。

  生成式人工智能、数据中心等领域带动半导体行业持续扩张,先进数据处理与通信业务成为三菱化学重点发展方向,本次布局正是为匹配下游市场增长需求。


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