EDWARDS展示领先的真空设备和尾气处理系统

     全球领先的真空设备和尾气处理系统制造商及相应增值服务供应商Edwards公司在3月18~20日于上海新国际博览中心举办的SEMICON?誖China展会上展示了一系列高性能真空泵和尾气处理技术，包括最近推出的STP-iXA4506大容量(large-capacity)涡轮分子泵(turbomolecular pump，TMP)，同时展示的其它产品包括iH600、iXM1200 / 1800、STP iXA3306和 iXH645H：STP-iXA4506具有高速度(4300 l/s N2)和高排气量(高达4300 sccm N2)，并且结合了高效抽吸轻、重气体的能力，因而成为广泛的大容量、高流量应用的理想选择，这些应用包括半导体蚀刻、LCD蚀刻、玻璃镀膜、太阳能物理气相沉积(physical-vapour deposition，PVD)和PVD镀膜。
     Edwards公司真空和尾气处理技术致力于在整个半导体制造领域中减少污染、降低能耗和运营成本，这些领域包括LED、太阳能光伏(solar PV)和平板显示(flat-panel display，FPD)等。（刘新光）