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自主研发!这家企业KrF、ArF光刻胶通过大厂验证
2024-06-19 12:51:37

据海沧区融媒体中心消息,厦门恒坤新材料科技股份有限公司自主研发的KrF、ArF光刻胶已通过大厂验证并实现产业化,截至目前该类光刻胶国产化率不到2%。此外,厦门恒坤几十款光刻材料产品已批量供货给国内多家芯片制造龙头企业。


恒坤股份:率先实现量供国产光刻胶


厦门恒坤新材料科技股份有限公司主要从事先进半导体材料的研发、生产和销售,主要产品有高端光刻胶和超高纯前驱体,应用于集成电路芯片制造的先进制程。

作为国家级专精特新企业,厦门恒坤是国内主要芯片企业的材料供应商,占据12寸晶圆制程用国产光刻胶主要市场份额,有效填补该领域的多项国内空白。

近年来,公司技术团队一直致力于光刻胶等半导体材料的核心技术攻关和产业化,配合国内晶圆制造厂商为突破3D NAND闪存芯片、Dram存储芯片和逻辑芯片的先进工艺技术提供关键材料支撑。

厦门恒坤的产品技术处于国际先进、国内领先水平,在碳膜涂层SOC和底部抗反射涂层BARC光刻材料领域,更是目前国内率先实现量供的国产光刻胶企业。


据了解,厦门恒坤已建成海沧总部研发中心和三个生产基地,在12英寸晶圆制造前道制程应用上,自产光刻胶累计出货突破20000加仑,前驱体累计出货300吨,填补先进技术节点多项国内空白,有效解决了集成电路产业链“卡脖子”问题。

来源:今日沧海


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