特气公司积极布局电子级乙炔项目 - 资讯

近日，重庆市长寿区生态环境局受理了欧中电子材料(重庆)有限公司年产9000瓶电子级乙炔项目。

高纯度电子级乙炔在大规模集成电路制造中可用于光刻技术中的碳掩薄膜制备，在光刻工艺的碳硬掩膜制备中，接受等离子体增加化学气相沉积工艺，可以在硅材料表面形成稳定的无定型碳层膜，构建可用于光刻工艺的碳硬掩膜，这种碳掩薄膜是生产逻辑器件、记忆器件、面板器件、光刻器件的重要原料。目前国内面向集成电路制造应用的电子级乙炔，主要还是国外进口，“卡脖子”现象明显。

国家知识产权局信息显示，广东华特气体股份有限公司申请一项名为“一种电子级高纯乙炔的纯化工艺及其生产工艺”的专利，公开号CN 119285432 A，申请日期为2024年10月。专利摘要显示，本发明涉及乙炔气体纯化技术领域，具体涉及一种电子级高纯乙炔纯化工艺及其生产工艺。电子级高纯乙炔纯化工艺包括将乙炔气体原料制成乙炔水合物，对乙炔水合物升温和/或降压，使乙炔水合物释放乙炔气体，提纯收集乙炔气体。

5月8日，总投资6.8亿元的永修硅碳新能源正硅酸乙酯及超高纯电子级气体生产建设项目公示，申报单位为江西硅碳新能源有限公司。据悉，该项目位于江西省九江市永修县云山经济技术开发区星火工业园星云大道北沿166号，主要新建建筑包括正硅酸乙酯生产车间、硅烷生产车间、超纯氨生产车间、电子级氧化亚氮生产车间、电子级氢气生产车间、超纯乙炔生产车间等。项目拟于2025年04月开工，2026年12月竣工。

来源:气体圈子