项目拟对原有年产4万吨多晶硅生产线系统产生的氯硅烷副产物进行回收利用,购置两套精馏提纯系统,包括HCDS和MCS/DCS精馏系统的塔、罐、换热器及辅助设备。建设电子特气分离、精馏净化、储存、充装装置及其附属设备、电控系统等,项目建成后,预计可形成年产500吨电子特气生产能力。
来源:芯气情报站
项目拟对原有年产4万吨多晶硅生产线系统产生的氯硅烷副产物进行回收利用,购置两套精馏提纯系统,包括HCDS和MCS/DCS精馏系统的塔、罐、换热器及辅助设备。建设电子特气分离、精馏净化、储存、充装装置及其附属设备、电控系统等,项目建成后,预计可形成年产500吨电子特气生产能力。
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