近日,鼎龙股份年产300吨高端晶圆光刻胶及湖北芯陶静电卡盘项目联合投产活动在武汉经开区举办。
湖北鼎龙控股股份有限公司总部位于武汉经开区,2010年创业板上市,是一家专注于半导体工艺材料、半导体显示材料、半导体先进封装材料、新能源等领域“卡脖子”材料研发生产的企业。其开发的CMP抛光垫产品,打破国外垄断,国产化替代率近80%。
光刻胶与静电卡盘是半导体制造过程中的核心关键材料,其研发生产是支撑芯片技术迭代、确保半导体产业链自主可控的“卡脖子”技术。长期以来,国内所需的高端光刻胶与静电卡盘基本依赖进口。鼎龙公司加强技术研发,通过光刻胶和芯陶静电卡盘的国产化和自主化,打破国外垄断,实现半导体供应链自主可控。
2023年12月25日,鼎龙股份发布公告,公司全资子公司鼎龙(潜江)新材料有限公司布局KrF/ArF光刻胶。公司拟对潜江新材料实施增资并以增资扩股方式引入两家员工持股平台及一家新进投资方共同投资建设年产300吨KrF/ArF光刻胶产业化项目。,项目地位位于湖北省潜江市江汉盐化工业园长飞大道1号。2025年4月,公司成功发行9.1亿元可转债,其中4.8亿元专项用于“年产300吨KrF/ArF光刻胶产业化项目”。
2025年12月22日,国产光刻胶厂商鼎龙股份在互动平台上表示,公司潜江二期年产300吨KrF/ArF高端晶圆光刻胶量产线,已按计划即将进入试运行阶段,当前整体节奏良好。潜江一期30吨KrF/ArF 高端晶圆光刻胶产线具备批量化生产及供货能力,可满足客户端现阶段订单需求。
同时,鼎龙股份还表示,公司深耕半导体材料领域多年,在KrF、ArF高端晶圆光刻胶领域已构建从核心原料到成品的全流程自主制备体系。公司布局的近30款高端晶圆光刻胶(涵盖KrF与浸没式ArF),可适配多制程需求。截至目前,公司已有两款高端晶圆光刻胶通过国内主流晶圆厂验证并获得订单,超15款产品送样验证、超10款产品进入加仑样测试。公司可凭借 “自主研发+产能到位+客户认可” 的综合优势,努力为国内半导体产业贡献核心力量。
来源:鼎龙股份、武汉经开区、ACMI半导体
