近日，全椒南大光电材料有限公司年产400吨磷烷联产5000吨次磷酸钠项目环境影响评价第一次公示。 

据悉，该项目位于安徽省滁州市全椒县经开区十谭园化工区新城大道以北、西环路以西。

项目分两期建设，一期新建甲类车间、丙类车间、甲类仓库一、甲类仓库二、丙类仓库一、丙类仓库二、黄磷罐区、液碱罐区、石灰库、水化间、动力车间、消防泵房、初期雨水池及事故池、中控室及综合楼等，一期购置合成反应釜、精馏提纯装置等生产设备建设年产200吨磷烷联产2500吨次磷酸钠产线；二期依托一期已建厂房、仓库及公用工程等，购置合成反应釜、精馏提纯装置等生产设备建设年产200吨磷烷联产2500吨次磷酸钠产线。

磷烷是半导体制造中的关键电子特气，主要用于N型掺杂（离子注入/扩散）、外延生长（如GaP材料）、MOCVD工艺及磷硅玻璃（PSG）钝化膜制备，其高纯度（≥5N）直接影响芯片电学性能‌。

该项目两期全部建设完毕投产后，可达到年产400吨磷烷联产5000吨次磷酸钠的生产能力规模。

来源:芯气情报站