9月12日，滁州芯科半导体材料有限公司电子材料建设项目环境影响评价公众参与信息首次公示。
据悉，该项目位于安徽滁州市全椒十字镇十谭产业园远大路09号厂房二楼，属于新建项目。
该项目规划建设约12000平方米厂房及5500平方米相关配套辅助用房，新上100吨/年硫化锂、100吨/年高纯乙炔、50吨/年一氧化氮以及部分气体纯化、充装生产线。
高纯乙炔用于半导体PECVD沉积、碳化硅外延生长、原子光谱校准及特种焊接，纯度直接影响芯片良率。一氧化氮在半导体工业中主要用于化学气相沉积（CVD）工艺，参与硅氧化膜的形成，并作为高纯电子特气用于蚀刻、清洗等关键制程。其高反应活性使其成为等离子体处理中的重要气体。
来源:芯气情报站